本文標(biāo)題："檢測金相顯微鏡通常使用小于100倍的放大倍數(shù)"
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X射線形貌照相上面所述的衍射儀并不是觀察衍射效應(yīng)
的唯一方法.例如，適當(dāng)?shù)剡x擇x射線、試樣和底片的幾何位置.
則由位錯(cuò)和層錯(cuò)這樣的品體缺陷造成的附加衍射效應(yīng)將產(chǎn)生缺陷
照相圖象(x射線形貌照相).照片是試樣和試樣內(nèi)部有垂直于衍
射面的柏格斯矢量的分量的所有位錯(cuò)的1:1的投影復(fù)型.任何放
大都必須通過其后的底片的放大才能獲得，并且由于底片的彩.
粒度的影響，放大倍數(shù)只限于幾百倍之內(nèi).可是，在半導(dǎo)體工作中，
通常使用小于100倍的放大倍數(shù).因?yàn)榉糯蟊稊?shù)低，因而與電子顯
微鏡觀察相比，分辨率是差的.當(dāng)位錯(cuò)密度相當(dāng)?shù)蜁r(shí)，這方法最
適合.形貌照相廣泛用來研究器件工藝過程中引起的損傷缺陷，
與其它方法相比，它具有非破壞性的優(yōu)點(diǎn).
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