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本文標題:"擴散設備可完成擴散和氧化-電子器件檢測顯微鏡"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2016-12-4 2:41:29

擴散設備可完成擴散和氧化-電子器件檢測顯微鏡

 
  用濕化學腐蝕法把原來的多晶層除去,露出原來的淀積層和氧化
物覆蓋的最初淀積的硅外延層的隔離區(qū)。所以,外延爐不僅可以生
長外延層,還可以通過氣相腐蝕和氧化,形成復雜的結(jié)構(gòu)。
 
    擴散設備也可以完成擴散和氧化之外的任務。一種專門的技術(shù)
就是退火方法,它可以保持本體半導體的壽命,舉例來說,漂移晶
體管的工作很大程度上依賴于本體半導體的壽命。標準的擴散和氧
化工序會使壽命降低,不過半導體的壽命可用退火方法來保持。在
每次專門氧化或擴散之后必須進行退火;或者在整個擴散一氧化結(jié)
束之后,單獨進行退火。根據(jù)制造器件的具體情況,制造器件用的
爐子設備必須能夠進行必
 

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擴散設備可完成擴散和氧化-電子器件檢測顯微鏡,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應


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