對(duì)顯微分析又兼有定性與定量分析之能力。對(duì)固態(tài)元素定性與定量分析，適用于Z>11(Na)，分析能力約為 100ppm，解析范圍約為1um。單獨(dú)作定性分析可測(cè)至Z>5(B)。通常EPMA同時(shí)附設(shè) WDS及EDS之偵測(cè)設(shè)備，兩者功能可以利弊互補(bǔ)，WDS 解析敏度為100ppm; EDS則為 1000ppm (0.1wt%)。在重元素材質(zhì)中含有輕元素時(shí)，解析度則更差。EPMA 之電子束涵蓋試片面積，直徑約為1um，電子貫穿試片深度亦約為lum。

 

         作定量分析時(shí)，試片必須磨平，材料之破裂斷面以及基材內(nèi)含有不規(guī)則形狀之顆粒，EPMA 雖也能分解，但精度較差EPMA是有多種功能的顯微分析工具。它特別適用于:(1)微組織內(nèi)含有個(gè)別相的成份分析 ; 譬如鋼鐵合金內(nèi)之析出物，第二相等。(2)晶界間成份梯度之變化及分佈狀態(tài)。(3)個(gè)別相組織內(nèi)成份均勻或不均勻之分佈狀況(在lum范圍內(nèi))。以及(4)非均勻元素分佈圖 (mapping) 之測(cè)定等。