本文標(biāo)題："電極及化學(xué)鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝"
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電極及化學(xué)鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝
電極工藝
燒滲電極及化學(xué)鍍鎳工藝，為常用的主要上電極工藝，其他還
有火焰噴鋁、噴銅、噴鋅、真空濺射、真空蒸發(fā)等。
真空濺射也可用于上電極，例如在PTC陶瓷中，用此工藝濺射
鈦電極，由于濺射前用氬離子清洗表面，使表面形成氧空位，破壞
了氧吸附，故能形成良好歐姆接觸，且黏附強(qiáng)度大。加興加康電子
陶瓷公司，用此工藝對大批壓電元件上電極。
火焰噴鋁也被大量用于對PTC及ZnO變阻器上電極。它用氧及乙
炔氣為熱源，利用壓縮空氣把熔融的鋁顯微液滴噴射在瓷片面上，
形成良好歐姆接觸電極。除鋁以外，還可噴Zn、Cu等，例如PTC蜂
窩發(fā)熱元件噴鋁后，再覆蓋黃銅(即噴Cu—Zn)，可防止鋁電極長久
使用后變質(zhì)。為了增大鋁對瓷的粘附，可以把瓷片預(yù)熱后再噴。等
離子噴涂與此類似。
不同元件、不同應(yīng)用有不同的要求，例如壓電元件在外電場極
化時(shí)，要求一種電極圖案，而工作時(shí)又要求另一種電極圖案，這時(shí)
可用空氣中固化的導(dǎo)電漿料，極化后除去，再換另一種形式的電極
。當(dāng)需要復(fù)雜圖案的電極，如梳狀或權(quán)枝形電極，則用掩膜板蒸發(fā)
形成電極。有些傳感器等疊層器件，多層重疊以獲得大位移量，例
如達(dá)到100μm時(shí)，往往應(yīng)用厚膜成形、沖制、印刷電極、疊層，最
后經(jīng)燒結(jié)。由于電極處于瓷片層之間，需耐高溫，因此多用舷一Pd
電極，也有利用注入法，即先用有機(jī)物為電極，燒除后再注入低熔
點(diǎn)金屬形成內(nèi)電極。
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