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本文標(biāo)題："掃描電容顯微鏡的應(yīng)用-上海光學(xué)儀器廠"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過-----時(shí)間：2013-3-9 0:50:43

掃描電容顯微鏡的應(yīng)用-上海光學(xué)儀器廠

掃描電容顯微技術(shù)是將一仟赫茲的AC 偏壓加在欲測(cè)半導(dǎo)體試片上或?qū)щ娞结樕希?/div>

使此二者之間產(chǎn)生電場(chǎng)，經(jīng)由電場(chǎng)的改變，探針下的自由載子可以改變成為帶正電荷或負(fù)電荷，而形成載子空乏或累積區(qū)域，

此現(xiàn)象可視為移動(dòng)的電容板。

決定此電容板移動(dòng)的距離之三個(gè)主要因素為施加電場(chǎng)的強(qiáng)度、導(dǎo)電探針與半導(dǎo)體間之介電層（通常為氧化層）的品質(zhì)與厚度、

及自由載子的濃度。自由載子可視為屏障或接收外加電場(chǎng)；當(dāng)電場(chǎng)強(qiáng)度越大或自由載子濃度越低，

則表面空乏層就會(huì)越深。導(dǎo)電探針與半導(dǎo)體間之介電層的厚度越大，則通過的電壓降越大。簡(jiǎn)而言之，

掃描電容顯微技術(shù)就是一種具平面解析度的C-V量測(cè)技術(shù)，藉由監(jiān)測(cè)外加AC波形偏壓變化下的電容變化值，而觀察與分析出載子濃度的多維動(dòng)態(tài)影像。

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